반응형 삼성전자13 에프에스티 - EUV 펠리클 솔루션 프로바이더 에프에스티는 반도체와 디스플레이 노광공정에서 마스크를 보호하기 위한 펠리클, 식각, 에칭, 증착 등의 공정에서 온도를 일정하게 유지시켜주는 칠러 장비를 주력으로 생산하고 있다. 매출 비중은 펠리클 52%, 칠러장비 43%, 기타 5% 순서이고, 펠리클은 반도체용과 디스플레이용으로 구분된다. 펠리클 내에서 반도체와 디스플레이 비중은 7:3 수준이다. 삼성전자 내 펠리클 M/S 80%로 압도적 1 위 에프에스티는 삼성전자 내 펠리클 M/S 80% 이상으로 압도적인 1 위를 유지하고 있다. 크게 ArF(불화아르곤)과 KrF(불화크립톤) 두가지 종류이고 비중은 7:3 수준이다. 삼성전자도 초기에는 일본산 펠리클을 사용해오다 2011 년 동사가 개발, 진입하였고 지금의 80% 수준까지 올라온 것이다. 즉, 일본발.. 2023. 3. 3. 이전 1 2 3 다음 반응형